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激光烧蚀进样系统: ⊙ 激光器:Nd:YAG@213nm ⊙ 重复频率:1-10Hz ⊙ 能量密度:30J/cm 2 ⊙ 光斑尺寸:12 种选择,4μm-110μm ⊙ XY 载物移动台:85mm×85mm ⊙ 移动分辨率:1um ⊙ 光学放大倍数:20 倍 ⊙ 视野范围:0.66mm*0.49mm
2023-11-08
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